PVA TePla AG
PVA TePlaは、世界中で事業を展開する多様なハイテク企業からなる団体です。数十年にわたる経験と未来のイノベーションを見据えた視点を活かし、真空・高温・プラズマプロセスおよび品質検査のための比類なきシステムを開発しています。
その開発は常に、お客様との緊密な連携のもとで行われています。
K&PとPVA TePla AGは10年以上日本国内での活動では多岐にわたり協力関係を構築しております。
Partnersパートナーズ
PVA Metrology and Plasma Solutions GmbH
PVA Metrology & Plasma SolutionsはPVA TePla AGの半導体部品製造における新技術の応用部門です。
同社は、半導体、マイクロメカニカル、および光電子部品の製造プロセスに関する知見を専門としています。
プラズマプロセスに加え、レーザー計測やVPD法を用いた分析手法においても、お客様を支援します。
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GIGA 690は、PS400およびPS660の後継となる低圧マイクロ波プラズマ装置です。2008年の発売以来、市場で高い評価を得ており、半導体パッケージング工程における洗浄・表面活性化に幅広く使用されています。ダイアタッチ前処理、ワイヤボンディング、フリップチップのアンダーフィル、封止前処理などに対応し、高速かつ低ダメージなプラズマ処理を実現します。操作は手動・自動の両モードに対応し、ソフトウェアはSEMI規格に準拠しています。
VPDウェハー表面検査装置WSPS/WSMS
ウエハーの検査工程で欠かせない、基層分解から表面回収までを一貫して行うことが可能です。
また、統合型装置WSMSでは回収前の液の調合から回収後の検体のICP-MSによる分析を全自動で行うことが可能です。
PVA TePlaのVPDシステムは、ウェハー上のこれら微量元素を、工程チェーンの前および途中で、最大 1E7at/cm²
の検出限界で検出可能。
これにより、生産の障害を早期段階で特定でき、不必要な追加コストを回避することを可能にします。
PVA Crystal Growing Systems GmbH
1,000台以上のシステム販売実績と包括的な技術ノウハウを活かし、同社は60年以上にわたり、高純度単結晶の製造において顧客を支援してきました。半導体、太陽光発電、エレクトロニクス、そして研究開発の各業界は、同社の高性能システムと包括的なサービス提供の恩恵を受けています。カスタマイズされたプラント設計とプロ ジェクト実行により、同社は顧客のニーズにきめ細かく応える高品質な結晶の育成を支援しています。
SiC結晶成長炉/ SiCam Gen4（弊社取り扱い製品）
・シリコンカーバイト
結晶成長炉（PVT)
昇華法炉
フローティングゾーン結晶成長炉 FZ（弊社取り扱い製品）
•フローティングゾーン法とは：
ルツボを使わずに原料棒の一部を加熱・溶融して表面張力で支え、
その溶融帯をゆっくり移動させることで高純度の単結晶を育成する方法
•パワー半導体用シリコン単結晶成長に用いられる結晶成長炉
PVA Vacuum Plant Engineering Jena GmbH
PVA TePla AGは、真空・高温・プラズマプロセスおよび品質検査向けのカスタマイズ装置を製造する、世界的に展開するハイテク企業を結集したグループです。
PVA TePla AGは、真空・高温・ プラズマプロセスおよび品質検査向けのカスタマイズ装置を製造する、世界的に展開するハイテク企業を結集したグループです。
PVA TePlaグループ内の関連会社向けに、同社の製造部門は世界中で販売される複雑なハイテク装置を製造しています。主な顧客は、PVA Crystal Growing Systems GmbHおよびPVA Metrology & Plasma Solutions GmbHです。
これらのパートナー企業向けに、同社はシリコンおよび炭化ケイ素の単結晶インゴットを製造するための結晶成長装置を構築しています。これらのインゴットは、半導体産業向けのウェーハの製造に使用されます。さらに、プラズマを用いた表面活性化および超精密洗浄装置の製造や、複数のクリーンルーム環境での品質検査システムの製造も行っています。